中国这就突破了28nm光刻机了吗？同志们，你是不是也被这消息给刷屏了。前不久，工业和信息化部发布了一个通知，是一个推广目录，其中在「集成电路生产装备」这一列中就有氟化氪光刻机和氟化氩光刻机赫然在列。其中这个氟化氩光刻机的分辨率达到65nm，套刻精度8nm，被认为是所谓的「28nm光刻机」。这个究竟是怎么回事？我们来研究下。

Has China achieved a breakthrough in 28nm lithography machines? Significant progress but still a long way to go—an in-depth analysis.