射频电源主要应用于射频溅射，PECVD化学气相沉积，反应离子刻蚀等半导体制造行业。生产芯片、处理器等半导体器件及薄膜太阳能电池、液晶等平板显示器都要用到射频电源。射频电源是产生等离子体的配套电源,由射频功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率计组成。